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無掩膜光刻技術（激光直寫）激光直寫技術是一種無掩模、適用面廣、性價比高的微納米加工手段，目前已經廣泛應用于微機電系統、掩模板、微流控、微納光學器件、超材料等微納米制造領域。
05-15 2023
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薄膜應力及翹曲度測量的基本原理薄膜應力的產生在硅片等基板上鍍膜時，鍍膜一般為升溫過程，當基板冷卻后由于基板和薄膜的熱膨脹系數不同，導致薄膜產生拉伸或壓縮，產生彎曲，從而產生應力。為什么要監控薄膜應力對于工藝工具的監測，優化和匹配以實現產量最大化，需要對關鍵薄膜層進行應力測量。CVD/PVD機臺調試···
03-03 2023
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