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產品名稱：薄膜應力測試儀
品牌：FSM
型號：128NT/128L/500TC
關鍵詞：薄膜應力，Stress，Bow
一、簡介
美國Frontier Semiconductor, 簡稱“FSM”，FSM為半導體、LED、太陽能、FPD、數據存儲和MEMS應用提供一系列先進的計量產品和解決方案。在應力測量、薄膜附著力測試、晶圓形貌計量和電氣表征方面擁有超過25年的經驗。其率先推出基于商業化應用的激光掃描光學杠桿（Optilever）技術，主要應用于薄膜應力和晶圓彎曲測量。
二、技術規格
FSM 128NT-8寸，FSM 128L-12寸
FSM 500TC-8寸，500℃
FSM 500TC 300-12寸，500℃
650nm及780nm雙激光自動切換
測量點位數：每毫米大于40點
2D/3D結果顯示
不帶圖案和帶圖案晶圓同樣適用。
三、應用
應用于晶圓PVD和CVD各類鍍膜應力和Bow測試。
