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產品名稱：汞探針CV測試儀
品牌：Four Dimensions（4D）
型號：CVMap 92A
關鍵詞標簽：摻雜濃度、汞探針，CV
一、簡介
美國Four Dimensions,Inc, 簡稱“4D”，成立于1978年，位于美國加州硅谷的Hayward, 4D公司專注于四探針設備和汞探針CV測試儀的生產和銷售，累計銷量達1000臺以上，遍布世界各大半導體Fab化合物半導體企業，大學及科研機構。CVmap系統使用獨特設計的汞探頭直接在未金屬化的晶圓上進行電容-電壓（CV）和電流-電壓（IV）測量。
二、技術規格
摻雜濃度測試范圍為1E14 – 1E19/cm3。
樣品尺寸：尺寸2~8英寸。
測試點數：可以滿足200個點的測試。
用于測試導電襯底、絕緣襯底和高阻襯底的外延的參雜濃度。
探頭為點狀探頭和點環狀結構。
換汞頻率在半年至一年，依賴于使用的頻率。
三、應用
用于測試各類導電襯底、絕緣襯底和高阻襯底的外延的摻雜濃度。
