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產品名稱：自動mapping膜厚儀
品牌：頤光Eoptics
型號：SR-Mapping
關鍵詞標簽：mapping膜厚儀、反射率、n&k
一、簡介
SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理進行無損測量，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時搭配R-Theta位移臺，兼容6到12寸樣品，可以對整個樣品進行快速掃描，快速準確測量薄膜厚度、光學常數等信息，并對于膜厚均勻性做出評價。
二、技術規格
測量參數：反射率、膜厚、n&k等參數
波長：380-1000nm（可擴展190nm-1650nm）
膜厚范圍：15nm-70μm
測量時間：5點5s，25點14s，56點26s
重復性測量精度：<0.05nm
測量精度：0.2%或2nm取較大值
光斑尺寸：標準光斑1.5mm
樣品臺尺寸：標配8寸（12寸可選）
三、應用
廣泛應用于各種介質膜、光刻膠等有機薄膜、無機薄膜、金屬膜、涂層等薄膜厚度mapping及均一性測量。
